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PDF/月刊誌論文/code:pg_0411_05マテリアル インテグレーション 2004年11月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0411_05 マテリアル インテグレーション 2004年11月号
ELECTRONIC CERAMICS 機能性単結晶の最近の進展
紫外コヒーレント光発生用ホウ酸系非線形光学結晶
■著者
大阪大学 大学院工学研究科 助手 吉村 政志
■要約
現在,固体レーザーの近赤外光を複数の非線形光学結晶により波長変換した,コヒーレント紫外光が注目されている.固体材料で構成されるこの光源は,小型でメインテナンスフリー,長寿命化が期待できるだけでなく,高繰り返しパルス動作が可能,ビーム品質が良いといった利点も供えており,エキシマレーザーに替わる光源として期待されている.代表的なものとしては,波長1064nmで発振するNd:YAGレーザーの第3(355nm),第4(266nm),第5高調波(213nm)などが挙げられる.また,ArFエキシマレーザーの発振波長と同一の全固体193nm光源や,さらに短波長の紫外光についても研究開発が進められている.波長や出力は,基本波である固体レーザーと組み合わせる非線形光学結晶によって決まる.これらの光学部品の中で,特に紫外光を発生させる結晶はレーザー損傷が生じやすく,光源出力と寿命を左右する点で極めて重要な素子である.それゆえ,結晶の選択,素子の取り扱い,出力値の設定は慎重に行う必要がある.いくつかのホウ酸系結晶は,紫外領域まで透明でレーザー損傷耐性にも優れ,大きな非線形性を兼ね備えている.本稿では,著者らが開発したホウ酸系非線形光学結晶の中からCBO (CsB3O5) ,CLBO (CsLiB6O10) ,KAB (K2Al2B2O7) について,紫外光源の開発状況に沿って現状を紹介する.また,最後に紫外光を発生しているその他のホウ酸系結晶についても述べる.
