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PDF/月刊誌論文/code:pg_0411_09マテリアル インテグレーション 2004年11月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0411_09 マテリアル インテグレーション 2004年11月号
ELECTRONIC CERAMICS 機能性単結晶の最近の進展
短波長リソグラフィー用光学材料
■著者
(株)ニコン ガラス事業室 製造部 水垣 勉
■要約
サブミクロンパターンの露光装置として重要な役割を担う逐次移動式露光装置(ステッパー)において,その光学系のレンズを構成する材料は,品質と量の両面において非常に重要な要素となっている.この短波長透過材料に求められる第一の条件は仕様波長における透過率の高さとレーザ耐久性の高さである.この条件を満たして,リソグラフィー用レンズ材料として現在最も使用されているのは石英ガラスとフッ化カルシウム(蛍石)である.特に,ArFレーザを光源とする193nm露光波長においては石英ガラスと蛍石が,さらに短波長化されるF2レーザを光源とする157nm露光波長においては使用できるレンズ材料は現在の状況においては事実上蛍石だけに限られてくる.本稿では,ステッパーに使われる蛍石材料を中心に,ステッパー,蛍石の製造方法と物性評価結果,さらに最近の話題等を取り上げて紹介する.
