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PDF/月刊誌論文/code:pg_1104_45 マテリアル インテグレーション 2011年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1104_45 マテリアル インテグレーション 2011年4月号
MATERIALS INTEGRATION 地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所(4,5月合併号)
ナノインプリントリソグラフィにおける光機能材料化学
■著者
東北大学多元物質科学研究所 高分子・ハイブリッド材料研究センター 光機能材料化学研究分野 中川 勝
■要約
Representative studies that the Nakagawa group of IMRAM in Tohoku University has been devoted to since the start of the research group in 2008 are described in this report. The research group has dedicated to pursue scientific principles for molecular control of interface function occurring at polymer/metal and polymer/inorganic material interfaces and to put them into practice in nanoimprint lithography promising as a next generation nanofabrication tool. We herein report on advanced antisticking, sticking, and resist materials for thermal nanoimprint lithography and ultraviolet (UV) nanoimprint lithography.
