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PDF/月刊誌論文/code:pg_0602_01 マテリアル インテグレーション 2006年2月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0602_01 マテリアル インテグレーション 2006年2月号
MATERIALS INTEGRATION 太陽エネルギー変換の最近動向
Cat-CVD法により作製した薄膜シリコン太陽電池
■著者
独立行政法人産業技術総合研究所 太陽光発電研究センター 産業化戦略チーム チーム長 増田 淳
■要約
Cat-CVD法は高速かつ大面積に高いガス利用効率での堆積が要求される薄膜Si太陽電池の生産に好適であることが期待されるため,これまでに数多くの機関で研究開発が行われてきた.次章以降で,Cat-CVD法により作製されたa-Si:H膜ならびにμc-Si:H膜の特性と,薄膜Si太陽電池ならびにヘテロ接合太陽電池への応用例について紹介する.
