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PDF/月刊誌論文/code:pg_0606_04 マテリアル インテグレーション 2006年6月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0606_04 マテリアル インテグレーション 2006年6月号
ELECTRONIC CERAMICS 光とセラミックス
電リソグラフィー応用としてのフッ化物単結晶の開発
■著者
株式会社トクヤマ CF-10グループ 乾 洋治 他
■要約
本報では,CZ法による大口径フッ化物単結晶のリソグラフィー用途への展開について紹介する.
