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PDF/月刊誌論文/code:pg_0610_03マテリアル インテグレーション 2006年10月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0610_03 マテリアル インテグレーション 2006年10月号
MATERIALS INTEGRATION 産学官協力の場-高知工科大学
ZnO材料に関するこれまでの研究・応用例
■著者
高知工科大学 総合研究所 極限プロセスデザイン研究センター 松田 時宜 他
■要約
近年,半導体デバイス材料としての酸化亜鉛に対して注目が集まっている.そこで,酸化亜鉛材料に関する産業への応用分野について概観した後,現在特に注目を浴びている電子材料,薄膜材料としての酸化亜鉛(透明導電膜,発光ダイオード,薄膜トランジスタ)の各トピックスについてまとめる.
