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PDF/月刊誌論文/code:pg_0611_01マテリアル インテグレーション 2006年11月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0611_01 マテリアル インテグレーション 2006年11月号
MATERIALS INTEGRATION ウルツァイト化合物の合成と物性
パルスレーザー蒸着 (PLD) 法による酸化亜鉛薄膜の合成
■著者
独立行政法人 物質・材料研究機構 物質研究所 電子セラミックスグループ 大橋 直樹
■要約
本稿では,まず,パルスレーザー蒸着法によって得られる薄膜の均質性,あるいは,組成転写性を検討し,薄膜成長条件を最適化するとともに,パルスレーザー蒸着法を利用して得られた薄膜と基板との間の反応性の問題,あるいは,成長した薄膜への熱処理の効果などを検討した.
