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PDF/月刊誌論文/code:pg_0611_04マテリアル インテグレーション 2006年11月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0611_04 マテリアル インテグレーション 2006年11月号
MATERIALS INTEGRATION ウルツァイト化合物の合成と物性
酸化亜鉛超薄膜の合成
■著者
独立行政法人 物質・材料研究機構 センサー材料センター 主席研究員 菱田 俊一
■要約
本報告では新規基板材料としてZrB2 (0001) を用いた,酸化亜鉛薄膜の初期成長段階について報告する.ホウ化ジルコニウムZrB2は六方晶系 (P6/mmm) の結晶でa=0.3165nm,c=0.353nmの軸長を持つ.酸化亜鉛とホウ化ジルコニウムの格子不整合(格子ミスマッチ)は約2.6%とアルミナに比べ小さい.ここでは薄膜成長機構を単純化するために,薄膜形成は室温(基板加熱なし)で膜厚も3nm以下の超薄膜を作製し,比較のためにアルミナ(サファイア)基板上でも薄膜形成を行った.ホウ化ジルコニウム単結晶が酸化亜鉛薄膜成長のための基板として有望であることが示された.
