- 商品コード：
-
code:pg_0612_10
PDF/月刊誌論文/code:pg_0612_10マテリアル インテグレーション 2006年12月号
- 通常価格(税込)：
-
2,200
円
- 販売価格(税込)：
-
2,200
円
ポイント：
0
Pt
- 関連カテゴリ：
-
電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2006
PDF/月刊誌論文/code:pg_0612_10 マテリアル インテグレーション 2006年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 先端セラミックスプロセス技術(1)
化学溶液法を用いたジルコン酸チタン酸鉛厚膜\\の作製とその圧電特性評価
■著者
(独)産業技術総合研究所 水素材料先端科学研究センター 飯島 高志
■要約
本稿では,圧電体膜素子の実用化を目指した研究として,化学溶液法を用いた圧電体膜作製技術,素子化のための微細加工技術,さらに膜の圧電特性評価技術について解説する.
