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PDF/月刊誌論文/code:pg_0612_11マテリアル インテグレーション 2006年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0612_11 マテリアル インテグレーション 2006年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 先端セラミックスプロセス技術(1)
インクジェット法によるチタン酸バリウム厚膜の作製
■著者
富山県工業技術センター 機械電子研究所 電子技術課 研究員 坂井 雄一 他
■要約
本稿では,酸化物微粒子を分散させたインクを作製し,キャパシタとしての応用が期待できるBaTiO3厚膜をセラミックス基板上にインクジェット法を用いて形成した事例について紹介する.
