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PDF/月刊誌論文/code:pg_0707_15 マテリアル インテグレーション 2007年7月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0707_15 マテリアル インテグレーション 2007年7月号
MATERIALS INTEGRATION エンジニアの源流---時代と世界の先端を走る(セラミックス革命)
分析技術:極微をはかる--原子の世界からセラミックスを観る
■著者
東京工業大学大学院理工学研究科材料工学専攻 木口 賢紀
■要約
本解説では,原子レベルの「極微の世界」からセラミックスの微構造を探る究極の手法である透過型電子顕微鏡によるセラミックスの微構造,組成に関して,筆者が携わってきた異種セラミックス間及びセラミックスと半導体間の接合に関する研究を実例として原子の世界からセラミックスの内部を観ることにしましょう.なお,初学者の方への閾をできるだけ下げるため一部厳密性を欠く表現がありますことをお断りしておきます.