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PDF/月刊誌論文/code:pg_0707_18 マテリアル インテグレーション 2007年7月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0707_18 マテリアル インテグレーション 2007年7月号
MATERIALS INTEGRATION エンジニアの源流---時代と世界の先端を走る(セラミックス革命)
薄膜の不思議な世界ナノオーダーの謎を追う
■著者
東京工業大学大学院理工学研究科材料工学専攻 高 鉉龍 他
■要約
わずかな厚さの薄膜を導入すること,つまり,薄膜の作り方,つまりプロセッシングによって,シリコン基板の上のセラミック薄膜の成長の方向の制御や,表面の状態,特性の変化などいろいろな面白い現象が起こります.ここで説明したことは,一例ですが,このような現象を調べることの積み重ねによって,私たちの日常生活で使われる様々な部品の中にいつか応用されることを期待しながら研究に励んでいます.
