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PDF/月刊誌論文/code:pg_0707_19 マテリアル インテグレーション 2007年7月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0707_19 マテリアル インテグレーション 2007年7月号
MATERIALS INTEGRATION エンジニアの源流---時代と世界の先端を走る(セラミックス革命)
セラミックス微小領域の高周波誘電率測定法の開発
■著者
東京工業大学大学院理工学研究科材料工学専攻 掛本 博文 他
■要約
我々は,電極を形成していないセラミックス表面近傍に,直接マイクロ単針を非接触に走査することで,セラミックス微小領域の誘電率を検出する測定法を見出し,現在は,誘電体デバイスの誘電率分布の測定を行っている.
