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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_02マテリアル インテグレーション 2007年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_02 マテリアル インテグレーション 2007年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノレベル電子セラミックス材料低温・集積化技術
PZTエアロゾル堆積膜の構造変化に及ぼすミリ波ポストアニール効果
■著者
大阪大学接合科学研究所 巻野 勇喜雄 他
■要約
本研究では,以上のようなミリ波加熱の特徴を考慮して,AD法により作製されたPZT膜のポストアニール法として適用し,PZT膜に対する選択加熱特性と均一加熱性をPZT膜の結晶状態の変化から明らかにすると共に,歪み緩和に対する効果も検討した.
