- 商品コード：
-
code:pg_0712_03
PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_03マテリアル インテグレーション 2007年12月号
- 通常価格(税込)：
-
2,200
円
- 販売価格(税込)：
-
2,200
円
ポイント：
0
Pt
- 関連カテゴリ：
-
電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2007
PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_03 マテリアル インテグレーション 2007年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノレベル電子セラミックス材料低温・集積化技術
AD法におけるプラズマ援用効果
■著者
龍谷大学 理工学部 機械システム工学科 助教 森 正和 他
■要約
本稿では,高速原子ビーム,直流プラズマ,誘導結合プラズマといったプラズマ援用技術を用いて得られた結果を紹介する.
