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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_06マテリアル インテグレーション 2007年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_06 マテリアル インテグレーション 2007年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノレベル電子セラミックス材料低温・集積化技術
AD法を用いた高性能圧電厚膜の開発と超音波モータへの応用
■著者
NECトーキン株式会社 研究開発本部 川上 祥広
■要約
本特集号で取り上げられているエアロゾルデポジション法 (AD法) はセラミック微粒子を基板に高速で衝突させることにより,室温でも緻密な多結晶組織のセラミック厚膜を形成できる.そのため,予め所定の成分組成に合成した粉末を使用することが可能であり,材料組成の選択自由度が広く,また,室温で膜形成が可能なことから基板材質も広く選択することができるという他の成膜方法にない優れた特徴を持っている. その特徴を生かした高性能な圧電膜,及び圧電膜を応用した超音波モータを試作・評価したので以下に報告する.
