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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_09マテリアル インテグレーション 2007年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_09 マテリアル インテグレーション 2007年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノレベル電子セラミックス材料低温・集積化技術
磁性材料成膜におけるAD法の応用とその電磁波抑制効果
■著者
ソニー株式会社 モノ造り技術センター 技術開発室 加藤 義寛 他
■要約
本報では,AD法を用いて作製した磁性材料膜における磁気特性,ならびに電磁波抑制効果について紹介する.
