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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_10マテリアル インテグレーション 2007年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_10 マテリアル インテグレーション 2007年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノレベル電子セラミックス材料低温・集積化技術
イメージングセンサにおけるAD法の応用
■著者
TOTO株式会社 総合研究所 基礎研究部 清原 正勝
■要約
本報告では,弊社で考案したマイクロ波を用い人体の動きを感知できるイメージングセンサについて,まず紹介し,次に,このセンサの開発における超微粒子を高速で吹き付け常温でセラミックス膜を形成するエアロゾルデポジション法(AD法)のメリット,その適合性と今後の展望と課題について報告する.
