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PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_12マテリアル インテグレーション 2007年12月号
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> 2007
PDF/月刊誌論文/code:pg_0712_12 マテリアル インテグレーション 2007年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノレベル電子セラミックス材料低温・集積化技術
空間光変調器とエアロゾルデポジッション法
■著者
豊橋技術科学大学 兼 豊田高等専門学校 高木 宏幸 他
■要約
本報では,電流によって発生する磁界を用いてピクセルの磁化を制御する電流駆動型MOSLM (i-MOLSM) と,透明磁性膜と圧電厚膜とを組み合わせることにより,電圧でピクセルの磁化方位を制御する電圧駆動型MOSLM (v-MOSLM) について紹介する.また$v$-MOSLMの実現に重要なプロセス技術として,PZT厚膜を低温で形成するエアロゾルデポジッション法:AD法についても言及する.
