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PDF/月刊誌論文/code:pg_0803_08 マテリアル インテグレーション 2008年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0803_08 マテリアル インテグレーション 2008年3月号
ELECTRONIC CERAMICS 電子セラミックス材料の積層技術
積層圧電アクチュエータで駆動するマイクロロボット
■著者
株式会社 アプライド・マイクロシステム 加藤 好志 他
■要約
当社開発のマイクロロボットには各種のタイプがあるが,どれにも共通で積層圧電アクチュエータを使用している.ひとつめは,平面だけでなく壁面や天井面を精密にしかも自由に移動可能なマイクロロボットで電磁石と積層圧電アクチュエータから構成されている.ふたつめは,走査型電子顕微鏡の真空チャンバー内で利用する場合,電磁石の漏れ磁界が電子顕微鏡の電子ビームに影響を与える恐れがあることを解決するため,積層圧電アクチュエータだけで駆動する慣性駆動型のマイクロロボットである.さらにマイクロロボットに搭載する様々な作業ツールのなかで,0.1〜数100pl(ピコリットル)と言った微少量の液体を塗布するシステムを開発した.
