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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_01 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_01 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
MATERIALS INTEGRATION 化学センサの新展開(第1章/ガスセンサ・第2章/バイオセンサ・イオンセンサ)
第1章 第1節 半導体ガスセンサ
酸化物半導体を用いた環境モニタリング用ガスセンサ
■著者
愛媛大学大学院 理工学研究科 定岡 芳彦
■要約
本稿では,ガスセンサの基礎となるガスと固体表面との相互作用および電荷移動について概説し,ガスセンサの設計における留意点ならびにオゾンガスセンサの必要性を述べます.
