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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_02 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_02 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
MATERIALS INTEGRATION 化学センサの新展開(第1章/ガスセンサ・第2章/バイオセンサ・イオンセンサ)
半導体ガスセンサの電極マイクロ設計による高感度化
■著者
立命館大学 生命科学部応用化学科 教授 玉置 純
■要約
半導体ガスセンサにおいて抵抗測定用の電極ギャップを感ガス体である酸化物粒子レベルに小さくしていくと,測定系によっては感度が増大する(マイクロギャップ効果).大きな効果が得られるのはNO2やCl2などの酸化性ガスとキシレンを検知する場合である.これは電極-酸化物界面の感度が酸化物粒界の感度より著しく大きいためであり,界面を増加させる電極マイクロ設計により高感度ガスセンサを構築できる.一方,H2S,CO,C3H8検知では効果はそれほど大きくない.
