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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_20 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_20 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
MATERIALS INTEGRATION 化学センサの新展開(第1章/ガスセンサ・第2章/バイオセンサ・イオンセンサ)
高温動作が可能な電界効果型ガスセンサ
■著者
石巻専修大学 理工学部 教授 中込 真二
■要約
始めに,電界効果型ガスセンサについて説明します.電界効果型ガスセンサは,Lundstrらが1975年に電界効果トランジスタのゲートにPdを用いることによって,ソース・ドレイン間の電流--電圧特性の飽和電流値が雰囲気の水素ガス濃度に応じて変化するセンサを発表したことに始まります.
