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PDF/月刊誌論文/code:pg_0810_02マテリアル インテグレーション 2008年10月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0810_02 マテリアル インテグレーション 2008年10月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化亜鉛の新展開(2)・機能性セラミックス関連材料の現在と今後
反応性プラズマ蒸着法によるZnO薄膜の特性と応用
■著者
学校法人 高知工科大学総合研究所 山本 哲也 他
■要約
酸化亜鉛透明導電膜 (ZnO-TCO) は,資源問題・環境問題・エネルギー問題の観点から,ディスプレイ,特に高輝度が要求される In-Cell Type の入出力表示装置や大面積薄膜太陽電池といった応用において,今後,重要な役割を担うことが期待される.われわれは機能安定なZnO-TCO付き液晶パネルの実現を最近,発表した.ZnO-TCOは薄膜構造・電気特性・光学特性にいかなる特徴を有するのか,加えていかにその特徴を引き出すのかについて解説する.
