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PDF/月刊誌論文/code:pg_0810_03マテリアル インテグレーション 2008年10月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0810_03 マテリアル インテグレーション 2008年10月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化亜鉛の新展開(2)・機能性セラミックス関連材料の現在と今後
スパッタ法によるZnO系薄膜の作製とLCDへの応用
■著者
金沢工業大学 光電相互変換デバイスシステムR & D センター 南 内嗣
■要約
現在,液晶ディスプレイ(LCD)の透明電極として広く実用されているITO(Indium-Tin-Oxide)透明導電膜を,不純物ドープ酸化亜鉛(ZnO系)透明導電膜で代替する場合の問題点を述べ,残されている問題点とその解決のための研究開発の現状について述べている.ITO透明導電膜の作製で全面的に採用されている直流マグネトロンスパッタリング(dc-MS)成膜技術を用いてZnO系透明導電膜を作製すると生じる基板上での大きな抵抗率分布の改善技術を述べる.ZnO系の実用成膜に適合したスパッタ用ZnO系焼結体ターゲット開発及び高周波重畳dc-MS成膜等からなる酸化抑制型dc-MS成膜技術開発の現状を述べる.
