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PDF/月刊誌論文/code:pg_0810_04マテリアル インテグレーション 2008年10月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0810_04 マテリアル インテグレーション 2008年10月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化亜鉛の新展開(2)・機能性セラミックス関連材料の現在と今後
酸化亜鉛薄膜のデバイスへの応用
■著者
(独) 産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門 柴田 肇 他
■要約
ZnOを利用した電子デバイスと光デバイスの実現を目指して,高品質なZnOのエピタキシャル単結晶薄膜成長技術の開発から始めて種々のブレークスルーを重ね,結晶極性制御技術,Zn1-xMgxO混晶成長技術を確立し,高品質なヘテロ接合と2次元電子ガスを実現する事に成功した経緯を紹介する.試作したHEMTデバイスは明瞭なピンチオフを示し,2μmゲート長を有する素子では26[mS/mm]の相互コンダクタンスが得られた.またZn1-xMgxO混晶はMg濃度を増大させて発光波長を短波長化するに従って発光効率が上昇する事を見出し,紫外線領域の発光材料として純粋なZnO以上に有望である事を明らかにした.
