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PDF/月刊誌論文/code:pg_0812_01マテリアル インテグレーション 2008年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0812_01 マテリアル インテグレーション 2008年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 発光材料の新展開
ダイヤモンドを用いた光センサの開発
■著者
物質・材料研究機構 センサ材料センター グループリーダー 小出 康夫 他
■要約
本研究の目的は,筆者らがこれまで行ってきた太陽光ブラインド性を持つ熱安定なSD型あるいはMSM型ダイヤモンドDUVフォトセンサの開発研究について概観することにある.本研究では,上記材料設計指針に基づき,ショットキー性電極として高融点金属カーバイドの一つである炭化タングステン (WC) ,および高融点金属ナイトライドの一つである窒化ハフニウム (HfN) をショットキー性電極として選定した.また,ダイヤモンドとの反応性金属としてチタン (Ti) を選定し,オーム性電極としてTi/WC(“/”は堆積順序を示す)2層構造とした.
