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PDF/月刊誌論文/code:pg_0011_12マテリアル インテグレーション 2000年11月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0011_12 マテリアル インテグレーション 2000年11月号
INTER MATERIAL 新しいナノプロセッシングとナノマテリアルの創生
連載特集
セラミックス開発の新兵器:TG-MS [18]電子材料における微量発生気体分析
■著者
東レリサーチセンター 材料物性研究部 第二研究室 谷川 幸登、石切山 一彦
■要約
近年,電子デバイスをはじめとするエレクトロニクス分野では,小型・軽量化に伴い,従来は問題視されなかった極微量の発生気体が問題となっており,発生気体の種類,量,発生温度域を把握したいというニ-ズが高まっている.そこで東レリサーチセンターでは,このような要請に応えるために,様々な特殊測定専用治具を新たに開発し,加熱時の発生気体を高感度で分析する手法を確立した.本稿では,該法を電子関連部材に適用した結果について紹介する.
