- 商品コード：
-
code:pg_0904_07
PDF/月刊誌論文/code:pg_0904_07 マテリアル インテグレーション 2009年4月号
- 通常価格(税込)：
-
2,200
円
- 販売価格(税込)：
-
2,200
円
ポイント：
0
Pt
- 関連カテゴリ：
-
電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2009
PDF/月刊誌論文/code:pg_0904_07 マテリアル インテグレーション 2009年4月号
ELECTRONIC CERAMICS MEMSデバイス関係の半導体プロセスとエレセラ材料技術のせめぎあい
モノリシックPZT多軸マイクロステージ
■著者
東北大学 大学院工学研究科 小野 崇人 他
■要約
小型の記録装置などに利用するためのXYZマイクロステージを設計および試作した.マイクロステージは,1枚のPZT (Pb(ZrTi)O3) の板をマイクロ加工技術で加工し,ステージ,支持ばね,変位拡大機構,積層アクチュエータ,および容量型変位センサなどを集積化した.アクチュエータの動きの組み合わせにより,このXYZステージは6自由度の動作が可能である.集積化した容量センサによるクローズループ制御により,ナノメートルの位置制御が可能であることを確認した.また,構造体としてシリコンを用い,高精度に加工したシリコンの機械要素にPZTアクチュエータをアセンブルしたXYステージについても試作および評価した.
