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PDF/月刊誌論文/code:pg_0904_08 マテリアル インテグレーション 2009年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0904_08 マテリアル インテグレーション 2009年4月号
ELECTRONIC CERAMICS MEMSデバイス関係の半導体プロセスとエレセラ材料技術のせめぎあい
水晶を用いた各種センサ
■著者
早稲田大学大学院情報生産システム研究科 植田 敏嗣
■要約
水晶単結晶の材料はSi同様に多く使用されており良い品質の結晶が安価に入手することができる.このような材料は,振動子や光学部品を中心に広い分野で利用されている.水晶は,振動子に利用されることから推測できるように,優れた弾性的な性質を備えているばかりでなく,圧電性も有しており使い方によってはSiが不得手とするような領域でも使用可能である.ここでは,このような例として,水晶をセンサに使用する場合について報告する.
