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PDF/月刊誌論文/code:pg_0908_02 マテリアル インテグレーション 2009年8月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0908_02 マテリアル インテグレーション 2009年8月号
ELECTRONIC CERAMICS 非鉛系圧電材料(2)
非鉛ニオブ酸塩系圧電体セラミックス薄膜
■著者
名古屋大学・エコトピア科学研究所ナノマテリアル科学研究部門 准教授 坂本 渉
■要約
本稿では,様々な非鉛系圧電体セラミックスおよびその薄膜化,薄膜の特性と応用について述べ,さらに比較的高いキュリー温度を有する強誘電体であり,優れた強誘電性および圧電性を示すため注目されているニオブ酸塩系ペロブスカイト酸化物について,筆者らが最近行ったケミカルプロセスによるK0.5Na0.5NbO3化合物の薄膜作製に関する研究例を紹介する.
