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PDF/月刊誌論文/code:pg_0909_04 マテリアル インテグレーション 2009年9月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0909_04 マテリアル インテグレーション 2009年9月号
ELECTRONIC CERAMICS 機能元素のナノ材料科学(9,10合併号)
分極軸配向正方晶Pb(Zr,Ti)O3厚膜の作製と評価
■著者
東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物質科学創造専攻 舟窪 浩
■要約
結晶の変位量を精度良く測定する必要が有る圧電性の基礎特性の評価には,膜厚が1μmを超える完全分極軸配向した“厚膜”の作製が必要であるが,これまで分極軸配向した厚膜は実現されていなかった.著者らの研究グループは,新規基板であるCaF2基板を用いることで,膜厚1μm以上の完全分極軸配向膜の作製に成功したので報告する.
