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PDF/月刊誌論文/code:pg_0912_01マテリアル インテグレーション 2009年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0912_01 マテリアル インテグレーション 2009年12月号
ELECTRONIC CERAMICS (1)機能性セラミックス,(2)新ガラス
低温形成電子セラミックス技術の応用展開
■著者
(株)富士通研究所 ナノエレクトロニクス研究センター 今中佳彦
■要約
本稿では低温成形電子セラミックスに焦点を絞り,最も代表的なLTCCとエアロゾルデポジションについて,これらの開発現状,将来性および技術ポテンシャルを概説する.
