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PDF/月刊誌論文/code:pg_0912_10マテリアル インテグレーション 2009年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0912_10 マテリアル インテグレーション 2009年12月号
ELECTRONIC CERAMICS (1)機能性セラミックス,(2)新ガラス
レーザー照射によるガラス内部からの半導体 (Si) 析出とその制御
■著者
京都大学大学院工学研究科 准教授 三浦 清貴
■要約
ここでは,その取り組みの一部をフェムト秒レーザーのガラス内部への集光効果とともに紹介する.
