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PDF/月刊誌論文/code:pg_1003_05 マテリアル インテグレーション 2010年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1003_05 マテリアル インテグレーション 2010年3月号
ELECTRONIC CERAMICS 省エネ,創エネで注目されるSiC (II )
大口径・高品質SiCバルク単結晶開発の現状
■著者
関西学院大学 SiC材料・プロセス研究開発センター センター長 教授 大谷 昇
■要約
本稿では,高性能SiCパワーデバイス実現のキーテクノロジーとなる,大口径・高品質SiCバルク単結晶の製造技術を概観すると共に,最近の技術開発動向について触れる.
