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PDF/月刊誌論文/code:pg_1003_09 マテリアル インテグレーション 2010年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1003_09 マテリアル インテグレーション 2010年3月号
ELECTRONIC CERAMICS 省エネ,創エネで注目されるSiC (II )
SiC高純度微粉末の新合成法と焼結技術
■著者
物質材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点 田中 英彦
■要約
近年では,プラズマのような高温や極端な環境でも安定あり,しかも軽量で原料の枯渇の不安がない.省エネ・資源の観点からも注目され,利用は広がっている.さらに,超高純度化が可能になって半導体産業に用途を見出してきた.このような先端的SiC材料の合成には新しい視点が必要になる.SiC粉末の高純度とその焼結技術・理論についてまとめた.
