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PDF/月刊誌論文/code:pg_1004_08 マテリアル インテグレーション 2010年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1004_08 マテリアル インテグレーション 2010年4月号
MATERIALS INTEGRATION 長岡技術科学大学(4,5月合併号)
微小気泡の吸着・脱離制御に基づく機能性デバイスの開発
■著者
長岡技術科学大学 工学部 河合 晃
■要約
本稿では,デバイスの加工技術,微細構造への微小気泡の捕獲脱離,ナノ気泡の観察,メモリデバイスへの展開について述べます.
