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PDF/月刊誌論文/code:pg_1008_03 マテリアル インテグレーション 2010年8月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1008_03 マテリアル インテグレーション 2010年8月号
MATERIALS INTEGRATION パルス通電場プロセシング --実用材料・デバイスへの応用(3)
微細構造解析
■著者
いわき明星大学 科学技術学部 システムデザイン工学科 安野 拓也
■要約
本稿では,透過型電子顕微鏡を用いた微細構造解析を行う際に問題となる焼結体からの薄膜試料作製について,最新の微細加工技術であるFIB法について解説する.さらに,パルス通電法の焼結挙動や焼結メカニズムに着目し,金属粉末及びセラミックス粉末を用いて種々の焼結条件において作製した焼結体について,電子顕微鏡による微細構造解析を行い,パルス通電焼結法の焼結時に発生する特有の現象について概説する.
