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PDF/月刊誌論文/code:pg_1010_05マテリアル インテグレーション 2010年10月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1010_05マテリアル インテグレーション 2010年10月号
MATERIALS INTEGRATION パルス通電場プロセシング --メカニズムと装置
パルス通電場プロセシングにおけるプロセス評価
■著者
佐賀大学理工学部電気電子工学科 三沢 達也
■要約
本節ではパルス通電場プロセシングにおけるプロセス評価と題して,パルス通電場プロセスにおける固有パラメータであり,他のプロセスとの大きな違いとなっている,プロセス中に材料に加わる電位分布,電流分布,電気抵抗のその場・直接観測と評価方法について述べる.