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PDF/月刊誌論文/code:pg_9906_09 マテリアル インテグレーション 1999年6月
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月刊 マテリアル インテグレーション
> 1999
DF/月刊誌論文/code:pg_9906_09 マテリアル インテグレーション 1999年6月号
ELECTRONIC CERAMICS モバイルデバイス
BGS波フィルタ
■著者
(株)村田製作所 技術開発本部 門田 道雄
■要約
Bluestein-Gulyaev-Shimizu wave(BGS波)は,弾性表面波(SAW:surface acoustic wave)の一種であり,同時期にアメリカ,ロシア,日本の3人の学者(Bluestein,Gulyaev,清水洋)により別個に発見され,その頭文字をとってBGS波と呼ばれている.BGS波を用いた場合,基板端面での完全反射を利用できるため,電極指の反射器を必要としない超小型の共振子が実現できる.また,圧電セラミックを代表するチタン酸ジルコン酸鉛(以下PZT)は,良好な温度特性と用途に応じた適切な電気機械結合係数を得るのに有利である.従来,BGS波用基板に適した電気機械結合係数と小さな周波数温度特性の両特性を兼ねそろえたPZT基板が得られなかったが,筆者らは諸問題を解決し,PZT基板を用いた端面反射型BGS波デバイスの開発,実用化に成功した.ここでは,横結合型共振子フィルタと縦結合共振子フィルタの原理,特性,応用例について報告する.
