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PDF/月刊誌論文/code:pg_9912_03マテリアル インテグレーション1999年12月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9912_03 マテリアル インテグレーション 1999年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 多様な電子機能をもつ酸化亜鉛の新展開
透明導電膜としての酸化亜鉛
■著者
青山学院大学 理工学部化学科 宋 豊根、重里 有三
■要約
透明導電膜とは,(1)透明である,即ち可視光の透過率が高い,(2)電気伝導度が高い,の二つの性質を合わせ持つ薄膜のことである.これらの性質により,透明な電極として液晶表示素子をはじめ様々な平面型表示素子,太陽電池等,そして窓ガラス等の建築や自動車用材料に応用が可能となる.電気伝導性酸化物薄膜としてはSnドープIn2O3(ITO)薄膜が,現在最も幅広く用いられているが,還元性雰囲気や水素プラズマに対する耐久性が乏しい.そこで,近年ではITO薄膜と比較して還元性雰囲気中やプラズマに対する耐久性が優れており,原材料のZnが豊富で安価であることから,太陽電池の透明電極への使用を目的にZnO系透明導電膜の研究が行われている.ここでは,ZnOの透明導電膜としての基本的な性質を説明し,さらにスパッタリングで成膜したGZO膜の微細構造や物性を決定する成膜プロセス中の要因に関して,最近の実験結果をもとに解説する.
