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PDF/月刊誌論文/code:pg_1012_08マテリアル インテグレーション 2010年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1012_08 マテリアル インテグレーション 2010年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 受動電子部品のエンベッディド化技術
BaTiO3ナノ粒子を用いた電気泳動堆積法による薄膜キャパシタの作製
■著者
福岡県工業技術センター 化学繊維研究所 有村 雅司
■要約
We have prepared BaTiO3 nanoparticles (BT-NP) with high crystallinity by using high concentration alkoxides precursor solution. Suspensions monodispersed with the BT-NP have been obtained due to organic ligand kept coordinate bond with the BT-NP, which is derived from all-wetted particle synthesizing process. We have examined electrophoretic deposition (EPD) method for fabricating thin film capacitor using the BT-NP, and have developed a novel continuous EPD apparatus. Thin film capacitor with the capacitance density of over 90 nF/cm2 has been obtained by using this apparatus.
