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PDF/月刊誌論文/code:pg_1012_10マテリアル インテグレーション 2010年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1012_10 マテリアル インテグレーション 2010年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 受動電子部品のエンベッディド化技術
チタン酸バリウムナノクリスタルを用いた薄膜キャパシタ
■著者
太陽誘電(株) 開発研究所 材料グループ 鈴木 利昌
■要約
A novel powder-sintering thin-film process using nanocrystals of sol-gel-derived BaTiO3 without sintering additives yields a highly densified microstructure containing columnar grains at low temperatures of 800 ℃. The BaTiO3 thin film fabricated on a (111)-oriented Pt/Al2O3 substrate shows high crystallinity and a relatively high dielectric constant of 635 at 10 kHz with a low loss tangent of 0.007. Furthermore, the controllability of the crystallographic orientations of thin films by solid state epitaxy is demonstrated on the basis of the optimization of surface nucleation and the subsequent grain growth on epitaxially grown platinum electrodes and single-crystal SrTiO3 substrates.
