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PDF/月刊誌論文/code:pg_0008_09 マテリアル インテグレーション 2000年8月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0008_09 マテリアル インテグレーション 2000年8月号
MATERIALS INTEGRATION 21世紀の材料革命 ―無機材質研究所―
ダイヤモンドの電子材料への応用に向けて-n型半導体ダイヤモンドの合成と評価-
■著者
無機材質研究所 先端機能性材料研究センター 神田 久生
■要約
現在,当所で行っているプロジェクトでは,半導体としてのダイヤモンドに注目し,それに関連する合成研究,特性評価研究を中心に行っている.研究課題として,合成面では,不純物のドーピングや結晶性の向上,ダイヤモンド表面構造の研究,評価面では電気特性,光学特性の研究を取り上げている.本稿ではn型半導体ダイヤモンドを中心に,当所での最近の成果の一端を紹介する.