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PDF/月刊誌論文/code:pg_0009_08 マテリアル インテグレーション 2000年9月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0009_08 マテリアル インテグレーション 2000年9月号
ELECTRONIC CERAMICS -光デバイスの新局面- フォトニックセラミックス
真空紫外光学応用フッ化物単結晶
■著者
東北大学 金属材料研究所 島村 清史、福田 承生、岡崎国立共同研究機構分子科学研究所 猪倉 信彦
■要約
フッ化物単結晶は高い透過性を有するなど,その優れた特性は知られていたにもかかわらず,これまであまり調べられてこなかった.その一つの要因は,最適な結晶成長技術が確立されていないことにあると思われる.著者らは,フッ化物に最適な結晶成長技術の開発を目指し検討を進めた結果,現在までに最大2インチサイズまでのLiCaAlFont 6(LiCAF)などの単結晶成長に成功した.また作製したLiCAF単結晶などの物性を調べていく中,次世代短波長化光リソグラフィーの硝材としての対応に関する大きな期待も出てきた.本稿では,LiCAFを中心に次世代短波長化光リソグラフィーへの期待される展開について触れる.
