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PDF/月刊誌論文/code:pg_0101_07 マテリアル インテグレーション 2001年1月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0101_07 マテリアル インテグレーション 2001年1月号
INTER MATERIAL 21世紀に飛躍する材料(2)
新しいプロセスによるナノ構造Si3 N4 系材料の創成と機能
■著者
住友電気工業(株)伊丹研究所 無機材料研究部 吉村 雅司、 部長 山川 晃
■要約
著者らは,新たに開発したMechano-chemical grinding(MCG)プロセスを用いて,結晶粒径が数十ナノメーターサイズのSi3 N4 と窒化チタン(TiN)から成るナノ構造Si3 N4 系材料の作製に成功し,塑性変形や熱伝導,耐摩耗性等に従来に報告されていない優れた特性を得た.ここでは,開発したナノ構造Si3 N4 系材料の創成プロセス及びその微細構造と特異な特性を紹介する.
