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PDF/月刊誌論文/code:pg_0104_08 マテリアル インテグレーション 2001年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0104_08 マテリアル インテグレーション 2001年4月号
INTER MATERIAL 多孔質セラミックスの新展開
液体ろ過用多孔質窒化ケイ素の開発
■著者
住友電工ファインポリマー株式会社 商品開発部 朴 辰珠、森田 徹、住友電気工業株式会社 伊丹研究所 河合 千尋、小村 修、山川 晃
■要約
地球環境保全が,世界共通のテーマとなっている中,排ガス浄化や排水,廃液処理,さらには汚水や溶剤の浄化,回収・再利用等の分野において,経済性に優れた膜分離に対するニーズが年々高まっている.その中でも耐薬品・耐溶剤性,耐圧・耐熱性および耐磨耗性に優れたセラミックフィルタへの期待が高い.本報告では,多孔質Si3 N4 の特徴をはじめとして,開発したフィルタモジュールの材料組織,モジュール構造,そしてアプリケーションの一つとして半導体CMP排水処理用フィルタへ適用した内容について述べる.
