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PDF/月刊誌論文/code:pg_1103_10 マテリアル インテグレーション 2011年3月号
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> 2011
PDF/月刊誌論文/code:pg_1103_10 マテリアル インテグレーション 2011年3月号
ELECTRONIC CERAMICS グリーンイノベーションを支える産総研の電子セラミックス研究
超伝導製膜技術と省エネルギーデバイスへの応用
■著者
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 真部 高明
■要約
AIST has succeeded in preparing large-size (e.g., 30cm×10cm) epitaxial superconducting YBa2Cu3O7 film on CeO2-buffered sapphire substrate by metalorganic deposition (MOD) process. This process produces YBa2Cu3O7 film by ``applying and then burning" a coating solution, so that mass production can be realized at a far lower cost than that of vapor-phase processes. This film is epitaxially grown with preferentially oriented particles, and shows a very high superconducting characteristic at liquid nitrogen temperature. This large-area superconducting film can apply to passive microwave devices such as filters or antennas, fault current limiters, and superconducting coated conductor.
