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PDF/月刊誌論文/code:pg_0112_04マテリアル インテグレーション 2001年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0112_04 マテリアル インテグレーション 2001年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノ機能性材料
コバルト酸化物系薄膜のナノ構造と光学的性質
■著者
(株)日立製作所 日立研究所 山本 浩貴、(株)日立製作所 日立研究所 内藤 孝、(株)日立製作所 日立研究所 高橋 研
■要約
著者らは,このように結晶構造においてもナノ構造においても特徴的な構造を有するコバルト酸化物にSiO2 などのガラス原料を混合してスパッタ法を用いて成膜することにより,ナノ構造制御,及び光学的特性の制御を行ってきた.特にDVDで用いられている650nmのレーザーを照射することにより屈折率がナノ秒オーダーで10%程度,可逆的に変化する現象を見出し,DVDの大容量化のための超解像膜としての検討を行ってきた.また,ガラス成分を添加した場合の粒径制御性,及びスパッタ条件の調整による配向制御性を利用して,このコバルト酸化物薄膜を磁気ディスクの下地層として用いることを検討してきた.本稿では,このガラス成分を添加したコバルト酸化物薄膜のナノ構造と光学的特性について研究例を報告する.
