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PDF/月刊誌論文/code:pg_0112_08マテリアル インテグレーション 2001年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0112_08 マテリアル インテグレーション 2001年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノ機能性材料
シリコン単電子デバイス
■著者
NTT 物性科学基礎研究所 主幹研究員 橋 康夫、NTT 物性科学基礎研究所 主幹研究員 藤原 聡、NTT 物性科学基礎研究所 主幹研究員 小野 行徳、NTT 物性科学基礎研究所 主幹研究員 猪川 洋
■要約
我々はシリコンでSETを作製する巧妙な手法を見出しており,さらにこれを進めて単電子論理回路応用を検討している.以下に,SETの構造・動作原理を簡単に説明した後,NTT で開発した作製手法,ならびにそれによって実現した単電子回路の例を紹介する.
